Une structure d’onde acoustique de surface (SAW) se compose généralement d’un substrat piézoélectrique, tel que du quartz ou du niobate de lithium, avec des électrodes métalliques interdigitées déposées à sa surface. Ces électrodes sont disposées selon un motif spécifique pour générer et manipuler des ondes acoustiques de surface. Lorsqu’un signal électrique est appliqué à ces électrodes, il crée une vibration mécanique dans le matériau piézoélectrique, qui se propage le long de la surface comme une scie. La structure peut également inclure des réflecteurs ou des transducteurs pour améliorer la propagation des vagues et contrôler les caractéristiques de la scie, telles que la fréquence et l’amplitude.
Pour faire une onde acoustique de surface (scie), des processus de fabrication spécialisés sont utilisés pour fabriquer le substrat piézoélectrique et déposer les électrodes interdigitées. Initialement, un matériau piézoélectrique de haute pureté tel que le quartz est coupé en dimensions précises pour soutenir la plage de fréquences souhaitée de la scie. Des techniques de dépôt en couches minces, telles que la pulvérisation ou l’évaporation, sont ensuite utilisées pour déposer des électrodes métalliques à la surface du substrat dans un modèle qui facilite la génération et la manipulation des scies. Le substrat peut subir des étapes de traitement supplémentaires, telles que la photolithographie et la gravure, pour définir le modèle d’électrode et optimiser les performances de la scie.
Un filtre à onde acoustique de surface (SAW) est un type de dispositif d’onde acoustique qui utilise la propagation de la scie pour filtrer et manipuler les signaux électriques. Il se compose d’un substrat piézoélectrique avec des électrodes interdigitées conçues pour transmettre ou refléter des fréquences spécifiques d’ondes acoustiques. Lorsqu’un signal électrique est appliqué aux électrodes d’entrée du filtre à scie, il génère une onde acoustique de surface qui se propage le long du substrat. L’onde acoustique interagit avec les électrodes et la structure du substrat pour atténuer sélectivement ou passer certaines fréquences du signal d’entrée, filtrant efficacement les fréquences indésirables. Les filtres SAW sont utilisés dans diverses applications telles que la communication sans fil, le traitement du signal et les systèmes de capteurs en raison de leur taille compacte, de leur faible consommation d’énergie et de leur capacité à atteindre une sélectivité et des performances élevées.