Uma estrutura de onda acústica de superfície (SAW) normalmente consiste em um substrato piezoelétrico, como quartzo ou niobato de lítio, com eletrodos metálicos interdigitados depositados em sua superfície. Esses eletrodos são dispostos em um padrão específico para gerar e manipular ondas acústicas de superfície. Quando um sinal elétrico é aplicado a esses eletrodos, ele cria uma vibração mecânica no material piezoelétrico, que se propaga ao longo da superfície como uma serra. A estrutura também pode incluir refletores ou transdutores para melhorar a propagação das ondas e controlar as características da serra, como frequência e amplitude.
Para fazer uma onda acústica de superfície (SAW), processos de fabricação especializados são usados para fabricar o substrato piezoelétrico e depositar os eletrodos interdigitados. Inicialmente, um material piezoelétrico de alta pureza, como o quartzo, é cortado em dimensões precisas para suportar a faixa de frequência desejada da serra. Técnicas de deposição de filme fino, como pulverização catódica ou evaporação, são então usadas para depositar eletrodos metálicos na superfície do substrato em um padrão que facilita a geração e manipulação da serra. O substrato pode passar por etapas de processamento adicionais, como fotolitografia e gravação, para definir o padrão do eletrodo e otimizar o desempenho da serra.
Um filtro de onda acústica de superfície (SAW) é um tipo de dispositivo de onda acústica que usa propagação SAW para filtrar e manipular sinais elétricos. Consiste em um substrato piezoelétrico com eletrodos interdigitados projetados para transmitir ou refletir frequências específicas de ondas acústicas. Quando um sinal elétrico é aplicado aos eletrodos de entrada do filtro de serra, ele gera uma onda acústica superficial que se propaga ao longo do substrato. A onda acústica interage com os eletrodos e a estrutura do substrato para atenuar ou passar seletivamente certas frequências do sinal de entrada, filtrando efetivamente as frequências indesejadas. Os filtros SAW são usados em diversas aplicações, como comunicação sem fio, processamento de sinais e sistemas de sensores, devido ao seu tamanho compacto, baixo consumo de energia e capacidade de atingir alta seletividade e desempenho.