Una struttura di onde acustiche superficiali (SAW) è tipicamente costituita da un substrato piezoelettrico, come quarzo o niobato di litio, con elettrodi metallici interdigitati depositati sulla sua superficie. Questi elettrodi sono disposti secondo uno schema specifico per generare e manipolare le onde acustiche superficiali. Quando un segnale elettrico viene applicato a questi elettrodi, si crea una vibrazione meccanica nel materiale piezoelettrico, che si propaga lungo la superficie come una sega. La struttura può anche includere riflettori o trasduttori per migliorare la propagazione delle onde e controllare le caratteristiche della sega, come frequenza e ampiezza.
Per realizzare un’onda acustica superficiale (SAW), vengono utilizzati processi di produzione specializzati per fabbricare il substrato piezoelettrico e depositare gli elettrodi interdigitati. Inizialmente, un materiale piezoelettrico ad elevata purezza, come il quarzo, viene tagliato in dimensioni precise per supportare la gamma di frequenza desiderata della sega. Le tecniche di deposizione di film sottile, come lo sputtering o l’evaporazione, vengono quindi utilizzate per depositare gli elettrodi metallici sulla superficie del substrato secondo uno schema che facilita la generazione e la manipolazione della sega. Il substrato può essere sottoposto a fasi di lavorazione aggiuntive, come fotolitografia e incisione, per definire il modello degli elettrodi e ottimizzare le prestazioni della sega.
Un filtro per onde acustiche superficiali (SAW) è un tipo di dispositivo per onde acustiche che utilizza la propagazione SAW per filtrare e manipolare i segnali elettrici. È costituito da un substrato piezoelettrico con elettrodi interdigitati progettati per trasmettere o riflettere frequenze specifiche delle onde acustiche. Quando un segnale elettrico viene applicato agli elettrodi di ingresso del filtro sega, genera un’onda acustica superficiale che si propaga lungo il substrato. L’onda acustica interagisce con gli elettrodi e la struttura del substrato per attenuare o far passare selettivamente determinate frequenze del segnale di ingresso, filtrando efficacemente le frequenze indesiderate. I filtri SAW sono utilizzati in varie applicazioni come comunicazione wireless, elaborazione del segnale e sistemi di sensori grazie alle loro dimensioni compatte, al basso consumo energetico e alla capacità di raggiungere elevata selettività e prestazioni.