Een oppervlakte-akoestische golfstructuur (SAW) bestaat doorgaans uit een piëzo-elektrisch substraat, zoals kwarts of lithiumniobaat, met in elkaar grijpende metaalelektroden die op het oppervlak zijn afgezet. Deze elektroden zijn in een specifiek patroon gerangschikt om akoestische oppervlaktegolven te genereren en te manipuleren. Wanneer een elektrisch signaal op deze elektroden wordt toegepast, ontstaat er een mechanische trilling in het piëzo-elektrische materiaal, die zich als een zaag langs het oppervlak voortplant. De structuur kan ook reflectoren of transducers bevatten om de golfvoortplanting te verbeteren en de zaagkarakteristieken, zoals frequentie en amplitude, te regelen.
Om een akoestische oppervlaktegolf (SAW) te maken, worden gespecialiseerde productieprocessen gebruikt om het piëzo-elektrische substraat te vervaardigen en de in elkaar grijpende elektroden af te zetten. Aanvankelijk wordt een piëzo-elektrisch materiaal met een hoge zuiverheid, zoals kwarts, in nauwkeurige afmetingen gesneden om het gewenste frequentiebereik van de zaag te ondersteunen. Dunne-filmdepositietechnieken, zoals sputteren of verdampen, worden vervolgens gebruikt om metaalelektroden op het substraatoppervlak af te zetten in een patroon dat het genereren en manipuleren van zaag vergemakkelijkt. Het substraat kan aanvullende verwerkingsstappen ondergaan, zoals fotolithografie en etsen, om het elektrodepatroon te definiëren en de zaagprestaties te optimaliseren.
Een Surface Acoustic Wave (SAW)-filter is een type akoestisch golfapparaat dat SAW-voortplanting gebruikt om elektrische signalen te filteren en te manipuleren. Het bestaat uit een piëzo-elektrisch substraat met in elkaar grijpende elektroden die zijn ontworpen om specifieke frequenties van akoestische golven door te geven of te reflecteren. Wanneer een elektrisch signaal wordt toegepast op de ingangselektroden van het zaagfilter, genereert dit een akoestische oppervlaktegolf die zich langs het substraat voortplant. De akoestische golf werkt samen met de elektroden en de substraatstructuur om bepaalde frequenties van het ingangssignaal selectief te verzwakken of door te laten, waardoor ongewenste frequenties effectief worden uitgefilterd. SAW-filters worden gebruikt in verschillende toepassingen zoals draadloze communicatie, signaalverwerking en sensorsystemen vanwege hun compacte formaat, laag energieverbruik en het vermogen om hoge selectiviteit en prestaties te bereiken.